超纯水系统中硼离子去除技术原理

news2025/7/18 14:50:52

    硼在元素周期表里面是五号元素,是IIIA族中唯一 一个非金属元素。它是制造P型半导体的主要

掺杂剂,基材中硼的含量直接影响半导体的极限电压,因此要严格控制基材中硼的含量。在半导体

制造的过程中,水、气、化直接跟产品接触,且绝大部分的工艺都跟超纯水有关系,因此超纯水的

品质尤为重要。如果超纯水中硼含量得不到有效控制,基材里的硼含量就没办法控制。

   硼在浓度比较低的时候,在水里主要是以硼酸或者是硼酸根的形式存在,两者的比例随pH值变化

而变化,当PH值超过11的时候,主要是以硼酸根形式存在;如果PH值小于7,主要以硼酸形式存

在。硼酸的电离常数只有5.8 x 10-10,极不容易电离。因此,硼酸是弱酸,酸性非常弱。在常规的

水处理流程中,硼酸比较难去除。

   下图是随着产水量的不断增加,混床的穿透曲线图,其中蓝色曲线代表产水电阻率,品红色曲线

代表产水中硼离子含量,黑色曲线代表产水中二氧化硅含量。从曲线中可以看出,累计产水约3.1

百万加仑时,产水中硼离子含量开始上升;累计产水约5.1百万加仑时,产水中二氧化硅含量开始

上升;累计产水约5.3百万加仑时,产水电阻率开始下降。因此表明混床运行过程中,硼离子是最

早穿透的阴离子。从曲线还可以看出,一旦硼离子开始泄露,产水中硼离子的含量会急剧升高,甚

至超过混床进水中的硼离子含量,这是因为原本吸附在树脂上面的硼,会被其他的阴离子置换出

来。如果我们仅用产水电阻率来判断混床是否失效需要再生,在混床运行后期,产水中硼离子含量

远超过我们的指标,可能造成产线上的缺失。

Tulsimer ®CH-99 硼选择吸附树脂

Tulsimer ® CH-99 是一款去除水溶液中硼及其盐的选择性离子交换树脂。在一些化工工业以及农

业用水中,微量的硼或者硼盐都可能是严重的问题。此种树脂可以在较大的PH 范围内甚至有其他

离子存在的溶液中有效的去除硼以及硼盐,并且具有更多的数量。

1、是一款去除水溶液中硼及其盐的选择性离子交换树脂

2、可以在较大的PH 范围内甚至有其他离子存在的溶液中有效的去除硼以及硼盐


 

 

 

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