基于VirtualLab Fusion的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、蛾眼结构的仿真与加工技术）课程

news2026/4/30 11:48:15

基于VirtualLab Fusion的微结构仿真设计与加工技术光栅、超表面、蛾眼结构的仿真与加工技术课程时间2026/5/19二-5/20三课程地点上海微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分应用广泛其设计精度与加工质量直接影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台VirtualLab Fusion结合多种仿真算法开展各类微结构的仿真设计与性能优化教学。课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型包括蛾眼减反射表面、偏振无关光栅、超构透镜等涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节无需深厚软件基础即可参与学习。本课程讲解VirtualLab Fusion在微结构仿真中的应用方法为微结构加工提供可靠的仿真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。VirtualLab Fusion软件介绍光之数字模型平台原理介绍VirtualLab Fusion用户界面的基础操作衍射光学元件设计与优化VirtualLab Fusion自由空间传播方法迭代傅里叶变化及角谱方法将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化衍射光学元件分束设计优化生成图案的衍射扩散器设计基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真衍射光学元件加工文件导出周期性微纳结构的优化设计傅里叶模态法Fourier Modal Method仿真微透镜阵列仿真蛾眼减反射表面的建模和仿真优化闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计大角度分束衍射光学元件的设计优化超表面微纳结构超构表面偏振/波长/角度响应分析超光栅的构建基于神经网络的超构透镜设计设计和分析超透镜基于超构透镜PCA实现聚焦与成像微纳加工工艺方案微纳加工完整流程概述灰度曝光/直写技术刻蚀类工艺其他辅助工艺典型微纳结构加工全流程实例微纳结构的表征微纳结构面型检测第一天第二天上午1. VirtualLab Fusion软件介绍2. 衍射光学元件设计与优化3. 周期性微纳结构的优化设计4.超表面微纳结构下午2. 衍射光学元件设计与优化3. 周期性微纳结构的优化设计5. 微纳加工工艺方案6. 微纳结构的表征

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