STEC SEC-4400质量流量控制器
news2026/4/26 16:27:53
STEC SEC-4400 采用金属密封结构专为半导体、光伏等严苛气体控制场景设计主要特点如下中间13条控制精度达 ±1.0% F.S.满足精密工艺需求重复性为 ±0.2% F.S.多次运行一致性高响应时间小于 1 秒典型 500ms实时跟随指令金属密封结构外部泄漏率低于 5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s量程比 50:1单台设备覆盖更宽流量范围兼容 N₂、Ar、O₂、H₂、CF₄、SiH₄ 等多种气体最大工作压力 1.0 MPa适应高压供气场景支持 0–5V / 4–20mA 模拟信号与 RS485 通讯零点及满量程温漂小±0.2% F.S./℃采用压电陶瓷阀无机械摩擦寿命长安装方向不敏感倾斜仍可稳定输出全不锈钢机身结构紧凑、坚固耐用工作功耗低发热量小适合长期运行结尾综上SEC-4400 兼具高精度、快速响应与可靠密封是工业气体输送控制的实用选择。
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